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    詳情介紹

      產品描述

      三路質子流量控制器主要用于實驗室氣體流量測試,并按比例混合氣體,為實驗室管式爐或手套箱等其他特定容器營造特定要求的氣氛環境.

      該氣體流量控制器可以外接3種氣體,采用質子型流量計,氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強.三路質子氣體配比器氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.

      應用范圍

      1.半導體制造行業中氣體流量控制

      2.各種真空鍍膜設備

      3.材料表面處理

      4.氣體燃燒控制

      5.混和配氣系統

      6.環境檢測與分析設備

      7.分析儀器的氣體流量計量與控制 8.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要氣體檢測和控制的場所

      技術參數

    產品名稱 三路質子氣體流量控制器
    流量計類型 質子流量計
    流量計管芯 304不銹鋼
    調節閥類型 電磁調節閥
    管道常態 常閉
    流量計外殼 黑色鋁殼
    氣體種類 3種
    接口尺寸 1/4"
    測量精度 ±1.0%F.S
    線性度 ±0.5%F.S
    重復精度 ±0.2%F.S
    壓力范圍 -0.1-0.15 MPa
    A路氣體測量范圍 0~100SCCM
    B路氣體測量范圍 0~200SCCM
    C路氣體測量范圍 0~500SCCM
    流量控制范圍 2%~100%
    零點溫漂 0.6F.S(15~35℃)
    響應時間 2S
    工作環境溫度 (15~50℃)
    精度保證溫度 (15~35℃)
    供電電源 220V 50Hz
    設備重量 43kg

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