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    鄭州PECVD系統

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    詳情介紹

      產品描述

      PECVD系統就是為了使傳統的化學氣象沉積(CVD)反應溫度降低,在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應裝置將反應氣體電離,形成等離子體,利用等離子體的活性來促進反應,所以這個系統稱為增強型化學氣相沉積系統(PECVD)。

      該型號PECVD綜合了國內大多數廠家的管式PECVD系統的優點,在PECVD前端加入了氣體預熱區,實驗證明此結構沉積速度快,成膜質量好,針孔較少,不易龜裂。

      技術參數

                  管式爐(加熱部分)參數介紹
    爐膛模式 開啟式爐膛
    顯示模式 7英寸觸摸屏
    溫度 1200℃
    工作溫度 ≤1150℃
    升溫速率 建議10℃/Min   Max:30℃/Min
    爐體移動 無極調速,根據工藝自動移動
    輔助預熱 加熱區200mm(足夠長度才能保證溫度準確度)
    溫區長度 440mm(沉積區),200mm(預熱區)
    爐管規格 80*2000 mm
    控溫精度 ±1℃
    密封方式 快捷法蘭連接密封
    溫度曲線 30段"時間—溫度曲線"任意可設
    控制系統 加熱控制、爐體移動、流量控制、真空系統按照設定一鍵自動完成整個工藝處理
    預存曲線 可預存15條工藝曲線,直接保存并隨時調用
    測溫元件 K型熱電偶
    爐膛材料 高純氧化鋁纖維
    加熱材料 摻鉬鐵鉻鋁合金加熱絲
                 射頻電源功率
    信號頻率 13.56 MHz±0.005%
    功率輸出范圍 0-500W
    功率穩定度 ±0.1%
    諧波分量 ≤-50dbc
    供電電壓 單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ
    整機效率 >=70%
    功率因素 >=90%
    冷卻方式 強制風冷
    控制方式 預先設定功率大小,自動運行
    真空部分
    真空度控制 自動平衡到用戶設定真空度。
    正壓保護 工作腔內壓力實時監測,大于設定值自動放氣
    工作電電壓 220V±10%  50~60HZ
    功率 500W
    抽氣速率 2L\s
    進氣口口徑 KF25
    排氣口口徑 KF25
    轉速 1450rpm
    系統真空度 ≤10Pa
                 三路供氣系統
    流量計類型 質子流量控制器
    準確度 ±0.35%
    重復精度 ±0.2%
    響應時間 氣特性:1 Sec
    工作壓差范圍 0.1~0.5 MPa
    氣路管道 304不銹鋼
    連接接通 雙卡套不銹鋼接頭
    氣體種類 氮氣、氬氣、甲烷、二氧化碳、氫氣等等(50~500sccm)
    進氣控制 每路氣體均可定時通斷,根據工藝自動切換所需氣體


    本文網址:http://www.atlantawomeninbusiness.com/PECVDxt/12.html
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